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专利名称：太阳能电池用薄膜形成装置及薄膜形成方法专利类型：发明专利
发明人：加藤孝正,成岛正树,原谦一申请号：CN201280005143.0申请日：20120113公开号：CN103314432A公开日：20130918
摘要：在被处理体的表面形成含有多种元素的薄膜的太阳能电池用薄膜形成方法中，利用电场使含有元素的原料溶液作为微粒飞散于处理空间，使飞散的上述微粒附着于被处理体的表面而形成薄膜。由此，即使在大气压气氛下也能够形成结晶性良好的光电转换元件用薄膜。
申请人：国立大学法人山梨大学,东京毅力科创株式会社
地址：日本山梨县
国籍：JP
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
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