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专利名称：一种感光树脂、正性光刻胶及应用专利类型：发明专利
发明人：李成红,黄杰,胡林云,李敬舟,潘长松,李启文,徐孝伟,
仇凯,王海群
申请号：CN201610807048.2申请日：20160907公开号：CN107797384A公开日：20180313
摘要：本发明公开了一种感光树脂、正性光刻胶及应用，属于光刻技术领域。该感光树脂的化学结构式如下所示：其中，a、b、c为对应单体的摩尔分数，0.1
申请人：上海飞凯电子材料有限公司
地址：201908 上海市宝山区市一路200号Z-1
国籍：CN
代理机构：北京三高永信知识产权代理有限责任公司
代理人：梁洪文
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